Конфокальный микроскоп VT6100 предназначен для исследования рельефа поверхности и измерения геометрических параметров образцов. Прибор сочетает конфокальную оптическую систему с программными алгоритмами обработки изображений, позволяя получать детальную модель поверхности и анализировать её особенности.
Главная особенность VT6100 — подавление фонового рассеянного света, поступающего из областей вне фокальной плоскости объектива. Такой принцип позволяет выделять информацию о выбранном уровне поверхности и уменьшать влияние света от участков, находящихся вне фокуса.
Для построения модели поверхности микроскоп последовательно формирует серию изображений при изменении положения фокальной плоскости по глубине образца. Затем программное обеспечение объединяет полученные данные, восстанавливая рельеф исследуемого участка. Это позволяет перейти от наблюдения отдельных изображений к пространственному анализу поверхности.
VT6100 поддерживает работу с образцами, отражающая способность которых составляет от 0,1% до 100%. Широкий диапазон чувствительности позволяет исследовать как слабоотражающие, так и высокоотражающие поверхности. Повторяемость измерений по оси Z на уровне 12 нм обеспечивает согласованность результатов при повторном исследовании одного и того же участка.
Для защиты оборудования и образца предусмотрена двойная система предотвращения столкновения с объективом. Дополнительно микроскоп оснащён алгоритмом анализа внешних вибраций и исключения их влияния на работу прибора. Автоматическое измерение размеров плоского контура упрощает определение геометрических параметров исследуемых объектов.